KLA-Tencor(KLA-Tencor Corporation) 는 신형 FlashScanTM 레티클 블랭크* 검사 제품군을 발표했다. KLA-Tencor는 1978년 처음으로 검사 시스템을 도입한 이래로 패턴 레티클 검사 분야에서 중대한 역할을 해왔지만, 새로 출시된 FlashScan 제품군은 레티클 블랭크 검사 전용 제품 시장으로 진출한다는 데에 그 의미가 있다.
레티클 블랭크 검사 시스템은 블랭크 제조업체에서 공정 개발 및 양산 과정 중에 결함 관리를 위해 구매하며, 레티클 제조업체(“마스크 숍”)에서 예정된 검사 시행, 툴 모니터링 및 공정 제어의 용도로 구매하고 있다. FlashScan 시스템은 광학 또는 극자외선(EUV) 노광용으로 고안한 레티클 블랭크를 검사할 수 있다.
FlashScan 시스템은 KLA-Tencor의 웨이퍼 결함 검사 포트폴리오 특유의 레이저 산란 기술을 활용하여 현재 생산 또는 개발 중인 여타 모든 광학 및 EUV 블랭크의 감도와 속도 요구사항에 부합한다. 레티클 검사 시장에서 유일무이한 3채널 컬렉터는 감광 코팅 면의 핀홀이나 블랭크 제조 또는 운송 도중에 나타날 수 있는 떨어진(fall-on) 입자 등과 같은 여러 가지 유형의 레티클 블랭크 결함을 감지하여, 크기를 알아내고 구별할 수 있도록 고안되었다.
업계를 선도하는 마스크 숍 고객들로부터 강한 관심을 표출하고 있는 것이 시장에 광범위한 결함 유형 포착 기능이 있는 고감도, 고생산성 시스템에 대한 수요가 있다는 점을 입증하고 있다. FlashScan 시스템은 블랭크 및 패턴 레티클 제조업체에서 요구하는 높은 성능과 생산성을 유지하기 위해 KLA-Tencor의 글로벌 종합 서비스 네트워크를 통해 지원된다.
Copyright ⓒ Acrofan All Right Reserved.
테크
마이크로소프트, 이그나이트 2023에서 AI 미래 여는 혁신 ..
네이버 두 번째 IDC '각 세종', "초대규모 AI , 클라우드 등..
오토모빌리 람보르기니 최초의 플러그인 하이..
로터스의 하이퍼 SUV 엘레트라, 국내 판매 가..